אַדוואַנטאַגעס:
די פּאָמפּע סעריע איז גוט אין פאָרשטעלונג אונטער האַרב ינווייראַנמענאַל (הויך טעמפּעראַטור, שטויב, אאז"ו ו), סטאַביל אין פאָרשטעלונג און לאַנג דינסט לעבן, און פּשוט וישאַלט און באַקוועם אָפּעראַציע.
אַפּפּליקאַטיאָנס:
די הויפּט אַפּלאַקיישאַנז זענען ינדאַסטריאַל רינען דיטעקשאַן, פּווד, קווד, יאָן ימפּלאַנטיישאַן, פּראָדוקציע פון וואַקוום עלעקטראָניש קאַמפּאָונאַנץ, נידעריק- E גלאז, יטאָ גלאז, אָפּטיש קאָוטינג, זונ-סעלז, עלעקטראָן שטראַל וועלדינג, וואַקוום אויוון און אנדערע ינדאַסטריז.
ספּעסיפיקאַטיאָנס:
פלאַנדזש (אין) | DN400 ISO-K | גאַז איבער סקאַם | N2: 5500 |
פלאַנדזש, אָוט, קף | DN100 | ער: 4000 | |
פּאַמפּינג ספּיד (ל/s) | N2: 3500 | H2: 3200 | |
ער: 2650 | אַר: 2100 | ||
H2: 1280 | ראָוטיישאַן ספּיד (רפּם) | 13500 | |
אַר: 3200 | לויפן צייט (מין) | ≤18 | |
קאַמפּרעשאַן פאַרהעלטעניש | N2: 108 | קאָאָלינג טיפּ, נאָרמאַל | וואַסער |
ער: 103 | קאָאָלינג וואַסער קאַנסאַמשאַן (ל/מין) | ≥1 | |
H2: 102 | קאָאָלינג וואסער טעמפּעראַטור (℃) | ≤25 | |
אַר: 108 | מאַכט קאַנעקשאַן: וואָולטידזש (V AC) | דק 24/אַק 220 | |
ולטימאַטעד דרוק (פּאַ) | 6 × 10-6 | מאַקסימום מאַכט קאַנסאַמשאַן (וו) | ≤1100 |
מאַקס. קעסיידערדיק פאָרע-וואַקוום דרוק (פּאַ) | 100 | קאָנטראָללער מאָדעל | פד-ווו |
מאַקס. פאָרע-וואַקוום דרוק | N2: 300 | וואָג (קגס) | 130 |