מאָדעל זדף -62 ב 5 קאַמפּאַונד וואַקוום מאָס איז קאַמפּאָוזד פון 2 שטעלט פון נידעריק וואַקוום מעסטן וניץ און 1 גאַנג פון הויך וואַקוום מעסטן וניץ. איין אַפּאַראַט פון קעגנשטעל מאָס (רג 2) איז געניצט צו דערגרייכן די מעזשערמאַנט (1.0 × 10 ע 5 פּאַ~1.0 × 10E-7 פּאַ) ינדיפּענדאַנטלי, די אַפּאַראַט פון קעגנשטעל מאָס (RG1) קאַמביינד מיט ייאַנאַזיישאַן מאָס, ווי קאַמפּאַונד אַפּאַראַט, איז צו דערגרייכן קעסיידערדיק קאָנטראָל און מעזשערמאַנט (1 × 10E5~1 × 10E-7 פּאַ).